AY-1809K4光学除振台-明立精机-光学除振台

适合精密机器个性的适合的除振系统能以低成本构成。

除振装置的优良性能自不必说，AY-1809K4光学除振台，更注重灵活。那是因为，光学除振台AYA-1510K4，配合精密机器个性的除振系统，直接编入机器的情况变多了。能适应这样的需求的除振系统，光学除振台RHS-1510K ，那就是AP系列。除了有富余的功能之外，扩展性也很充分。该减振系统实现了更理想的振动环境。

概要?特点

技术和实绩发光的明立空簧除振系统

从显微镜和激光应用技术到半导体制造·检查装置，采用了在广泛的领域有很多实绩的空簧系统。保证在从数Hz到数百Hz的宽频带上出色的除振性能。同时，即使空气的供给停止了的状态，空簧下部的防振橡胶保护装载机器的精密的机械装置。

通用单元类型

装入装置时，除振系统的安装空间要求更小。AP系列是紧凑地归结了空簧和控制那个的高灵敏度水平维持传感器的单元类型。装置无需大幅度变更规格即可安装，光学除振台，可获得高的除振性能。

6自由度主动控制的台式除振系统。

经常监视搭载板的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。

用3维（6自由度）控制。

概要?特点

6自由度主动控制

经常监视搭载板的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。

用3维（6自由度）控制。

自动活动调整和自动校平

主动控制中不可缺少的增益调整由明立精机的控制系统自动优化。

不受搭载物左右的除振性能

通过重新审视装置构造，即使是小型SPM这样的轻量搭载物也不会降低除振性能。

台式主动减振系统

根据在长期的历史和交付实绩中培育了的除振技术被开发了的ME40系列更新为ME系列。紧凑的身体集中6自由度主动除振机构，提供用以前的被动式不能实现的振动环境。近年来，特别是在进步惊人的纳米技术领域，是限度地发挥高精度、高分辨率的精密机器性能的合作伙伴。

概要?特点

6自由度主动控制

经常监视搭载盘及设置面的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。用3维（6自由度）控制。

自动活动调整和自动校平

主动控制中不可缺少的增益调整由明立精机的控制系统自动优化。

轻量装载物也能对应

通过重新审视装置构造，小型SPM等轻量的搭载物也可以使用。

仅电源工作

使用所需的实用程序电源。不需要压缩机等空气源。不选择安装场所、使用环境。

应用程序

扫描探针显微镜（SPM）、聚焦激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测量机、激光位移仪系统、其他精密测量及精密加工机。