60年代，HEPA过滤器问世；70年代，精密过滤器，采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器，对013微米粒径的粒子过滤效率竟高达99.9998%。八十年代以来，随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高，发现HEPA过滤器存在着严重的问题，于是又产生了性能更高的ULPA过滤器。各国仍在努力研究，前置过滤器，估计不久就会出现更的空气过滤器。
测试原理：※ 起泡点法测试原理：当滤膜和滤芯用一定的溶液完全浸润，然后通过气源在一侧加压（我们仪器里面有进气控制系统，可以稳定压力，调节进气），随着压力的增加，气体从滤膜的一侧放出，表现膜一侧出现大小、数量不等的气泡，通过仪器判断出对应的压力值就是泡点。※ 扩散流法测试原理：扩散流测试是指当气体压力在滤芯起泡点值的80%时，南通过滤器，这时还没有出现大量的气体穿孔而过，只是少量的气体先溶解到液相的隔膜中，然后从该液相扩散到另一面的气相中，这部分气体称之为扩散流。
维护保养：①、粗滤过滤器1、过滤器的部位是过滤器芯件，过滤芯由过滤器框和不锈钢钢丝网组成，不锈钢钢丝网属宜损件，需特别保护；2、当过滤器工作一段时间后，过滤器芯内沉淀了一定的杂质，这时压力降增大，流速会下降，不锈钢过滤器，需及时清除过滤器芯内的杂质；3、清洗杂质时，特别注意过滤芯上的不锈钢钢丝网不能变形或损坏，否则，再装上去的过滤器，过滤后介质的纯度达不到设计要求，压缩机、泵、仪表等设备会遭到破坏；4、如发现不锈钢钢丝网变形或损坏，需马上更换。
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