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无尘车间的规划要在往后的运用过程中节省动力(解释:向自然界供给能量转化的物质),进行规划之前就要将相关的问题考虑周到,无尘室车间设计施工厂家推荐,防止在往后的运用过程中成本过高,让前期的规划减少后期的费事。净化公司在接受无尘车间装饰时会在装饰之前为顾客考虑各方面因素进行的规划。
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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