无尘车间也叫净化车间、净化室、洁净室，就是指将一定室内空间范围内之空气中的尘粒、危害空气、病菌等之空气污染物清除，并将房间内之温度、洁净度、房间内工作压力、气流速度气流遍布、噪声震动及照明灯具、静电感应操纵在某一要求范围内，而所给与非常设计方案之屋子。亦就是无论外在之空气标准怎样转变，其房间内均能俱有保持原来所设置规定之洁净度、温度湿度及工作压力等特性之特点。针对无尘车间，人们要掌握生产车间的主要用途、生产工艺流程，洁净空调施工，针对无尘车间的空气洁净度、温度、环境湿度等规定。次之要充足掌握无尘车间的各功能分区的区划，以明确各生产工艺流程的空气洁净度级别和各种各样主要参数规定。
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净化车间的洁净度级别通常分为：百级、千级、万级、十万级和三十万级。十万级净化车间一般适用于电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻和微机制造等行业中。十万级净化车间的要求不仅仅是需要空气洁净度为十万级，还需要保证能达到除静电的效果。在十万级净化车间中，尘粒1大允许数≥0.5微米的粒子数不允许超过350万个；换气次数：10-15次/小时；压差：主车间相对相邻房间≥5pa；温度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；相对湿度：45-65%（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20%-30%；照度大于等于300Lux。
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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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