少无氧化加热金属。在空气和氧化介质中加热会发生氧化造成金属的损耗，而氧化会破坏零件和制品的表面状态和精度。如果采用中性、惰性气体保护，涂以保护涂料或用不锈钢箔包裹，在深度真空中加热可完全避免氧化。此外，加热时间很短的电感应方法，盐浴和流态床加热都可使金属的氧化降到较低程度。少无脱碳。例如钢件在空气等氧化气氛中加热、与表面氧化的同时还伴随表面含碳量的降低，形成表面脱碳。
比如在深度真空中加热不会脱碳，真空热处理，在浮动粒子炉、盐浴、深层和包装加热后都有少无脱碳效果，感应热处理虽有轻微氧化，但不会有明显脱碳。
少无废品和返修品。从零件的设计、材料的选择、材质的保证、加工过程和工艺线路的优化、用数据库和决策系统优选工艺和设备、设备可靠性的保证、工艺参数和质量的在线控制、无损自动检测系统来完成全部加工和热处理过程，实现产品的整体质量控制，东城真空热处理，使废品率和返修品趋零，石排真空热处理，可以达到产品的100% 合格。
真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后，东坑热处理，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。
经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。
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