软氮化，软氮化的学名是“氮碳共渗”。渗入钢表面的元素以氮为主，同时添加了碳。 软氮化实质上是以渗氮为主的低温氮碳共渗，与硬氮化相比，渗层硬度较低，脆性较小，故称为软氮化。软氮化方法分为气体软氮化和液体软氮化两大类。目前国内生产中应用广泛的是气体软氮化。气体软氮化是在含有活性碳、氮原子的气氛中进行低温碳、氮共渗，温度常用560～570℃，氮化时间常为2～3小时。气体软氮化目前存在问题是表层中铁氮化合物层厚度较薄（0.01～0.02mm），且氮化层硬度梯度较陡，故不宜在重载条件下工作。“软氮化”含义不是指获得的硬度比所谓的“硬氮化”的硬度低，而是含有简便、省事、费用低的意思。
（1）水中加入盐可使冷却速率加倍：盐水淬火之冷却速率快，且不会有淬裂及淬火不均匀之现象，可称是理想之淬硬用冷却剂。盐的添加比例以重量百分比10%为宜。
（2）聚合物可与水调配成水溶性淬火液：聚合物淬火液可依加水程度调配出由水到油之冷却速率之淬火液，甚为方便，且又无火灾、污染及其它公害之虞，颇具前瞻性。
（3）干冰加乙醇可用于深冷处理容液：将干冰加入乙醇中可产生-76℃之均匀温度，是很实用的低温冷却液。
变形的原因任何金属加热时都要膨胀，由于钢在加热时，同一个模具内，各部分的温度不均（即加热的不均匀）就必然会造成模具内各部分的膨胀的不一致性，从而形成因加热不均的内应力。在钢的相变点以下温度，石排真空热处理，不均匀的加热主要产生热应力，超过相变温度加热不均匀，还会产生组织转变的不等时性，真空热处理，既产生组织应力。因此加热速度越快，大朗真空热处理，模具表面与心部的温度差别越大，应力也越大，模具热处理后产生的变形也越大。
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