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低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中，由于新的溶剂(主要是Ag，Au及其合金)不断发现，大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，1260液相设备厂商，而当生长温度低于500℃时，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。

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①高压：流动相为液体，流经色谱柱时，受到的阻力较大，为了能迅速通过色谱柱，1260液相设备，必须对载液加高压。②高速：分析速度快、载液流速快，较经典液体色谱法速度快得多，通常分析一个样品在15～30分钟，有些样品甚至在5分钟内即可完成，一般小于1小时。③：分离效能高。可选择固定相和流动相以达到分离效果，比工业精馏塔和气相色谱的分离效能高出许多倍。




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