与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。LPE的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，不能进行很好的生长。其次，安庆1260液相，由于分凝系数的不同，除生长很薄的外延层外，1260液相供应，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。
1、进样量范围：
0.1 – 900μL，增量为 0.1μL （推荐增量为 1μL）
使用多次抽取升级工具包时（需要改动硬件）达 1800μL
2、精度：
5-2000 μL 内，峰面积精度一般 ＜ 0.5 % RSD
2000 – 5000 μL内，1260液相怎么样，峰面积精度一般 ＜ 1 % RSD
1 – 5 μL内，峰面积精度一般 ＜ 3 % RSD
可变体积
3、样品黏度范围：0.2 ~ 5 cp
4、样品容量：
1 个样品盘上 100 ×2 ml 样品瓶，
1/2 盘上 40 ×2 ml 样品瓶
1/2 盘上 15 ×6 ml （安捷伦样品瓶）
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