在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高等级别的洁净厂房，预过滤器的常见的效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高有效。那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年，尤其差的也就几个月。可见，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。
刷式：不锈钢刷式过滤器通过自身的检索和应变功能，实现自动反冲洗，可应对不稳定的水质波动，无需人工干预。不锈钢刷式过滤器在反冲洗过程中，各个（组）滤网依次进行反冲洗操作；确保滤网安全、高有效清洗，而其他滤网不受影响，继续过滤。不锈钢刷式过滤器采用自动排污阀，精密过滤器价格，反冲洗历时短，反冲洗耗水量少，环保经济。易损件少，无耗材，运行维护费用低，操作管理简单。
加压：由于结构复杂，应用较少。常用的加压过滤是利用滤室容积变小或施加机械压榨力进行过滤，滤渣含湿量较低，适用于固体颗粒浓度高的悬浮液。在带式压榨过滤器中，经重力或真空初步脱液后的湿滤渣夹在两条滤带之间移动，再经辊子挤压脱液。螺旋压榨过滤机具有带孔隙的圆筒，其中有旋转的螺旋，螺旋槽深不等，物料由深槽端加入推向浅槽端，滤室空间逐渐减小，物料受到压榨，滤液由圆筒的孔隙排出，滤渣由小端排出。
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