模具热处理后的变形一般都认为是冷却造成的，这是不正确的。模具特别是复杂模具，真空热处理，加工工艺的正确与否对模具的变形往往产生较大的影响，对一些模具加热工艺的对比可明显看出，加热速度较快，往往产生较大的变形。
预防措施?对复杂模具在相变点以下加热时应缓慢加热，一般来说，模具真空热处理变形要比盐浴炉加热淬火小得多。采用预热，寮步真空热处理，对于低合金钢模具可采用一次预热；对于高合金刚模具应采用二次预热。
淬火时，淬火应力越大，相变越不均匀；比容差越大，则淬火变形越严重。通过对齿轮渗碳淬火冷却时各部位的冷却速度、组织及硬度状态比较分析，可以发现各部位冷却速度的不同导致产生热应力，由冷速不均匀所导致组织转变的不同时性会造成组织应力。齿轮的结构，石排真空热处理，例如形状、尺寸等是影响热处理变形的因素之一。动锥齿轮模型，其齿部厚度Lo与齿座厚度L的比例影响齿轮底面变形，当L≥Lo时，齿轮底面变形。
模具中不乏有精密复杂的模具，所以就需要设计人员有正确的方法。1、合理的选材。对形状复杂的模具要选用质量好的微变形模具钢，对碳化物偏析严重的模具钢进行锻造和调质热处理，对较大或者无法锻造的模具钢进行固溶细化热处理。2、模具的设计要合理，形状对称，常平真空热处理，对较大的模具掌握好变形的规律，预留加工余量，大型和精密复杂的模具可采用组合结构。3、此种模具要进行预先热处理。4、合理的选择加热温度和控制温度，可采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。5、条件允许的情况下，尽量采用真空淬火和淬火后的深冷处理。此外正确的热处理加工工艺操作和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。
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