高温正火(Ac3以上150～200℃)由于高温下扩散速度较高，可以减少铸件和锻件的成分偏析。高温正火后的粗大晶粒可通过随后第二次较低温度的正火予以细化。
对某些用于汽轮机和锅炉的低、中碳合金钢，大朗真空热处理，常采用正火以获得贝氏体组织，再经高温回火，用于400～550℃时具有良好的抗蠕变能力。
除钢件和钢材以外，正火还广泛用于球墨铸铁热处理，使其获得珠光体基体，真空热处理，提高球墨铸铁的强度。
真空热处理所在的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空等，所以，真空热处理实践也归于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的悉数和部分在真空状态下进行的，真空热处理能够完成简直一切的惯例热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。与惯例热处理比较，真空热处理加工技能可一起完成无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件外表的磷屑，并有脱脂除气等效果，然后达到外表光亮净化的效果。
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