




爱德华真空泵作为欧洲品牌,爱德华ZRS1200机械增压真空泵维修,以其的性能和可靠的质量赢得了客户的信赖。
节能:采用的技术设计,确保地提高能源利用率,并降低运行成本。
可靠稳定:采用材料和精密制造工艺,确保设备长期稳定运行,具有良好的耐久性。
安全易用:配备智能控制系统,可以实现自动化操作,并提供多重安全防护功能。
以E2M275型号为例,其抽气速度为255m3/h,排量292m3/h,极限压力1.0 *10^-3mbar,功率7.5KW(三相),重量225kg,油量19-28L,噪音值75dB。

半导体:
爱德华真空泵在半导体制造过程中用于创建和维持高真空环境,以确保制造过程中不会受到气体和杂质的污染。
型号如iH80、iH160、iH1000、iH1800等专为半导体行业设计,满足高精度、高清洁度的需求。
光电子产业:
在光学镀膜、光学仪器、激光设备等领域,爱德华真空泵被用于确保制造过程中的高质量和准确性。
通过能抽气能力,为光电子产业提供稳定的真空环境。
爱德华真空泵在设备中,如成像(MRI)设备中,用于提供必要的真空条件。
其高可靠性和低噪音设计确保了设备的稳定运行和患者的舒适体验

薄膜沉积:在半导体制造过程中,薄膜沉积是一个关键步骤。爱德华真空泵能够提供高纯度和无尘的环境,确保薄膜沉积的质量和性能。例如,物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等工艺都需要用到真空泵来创造理想的沉积环境。
离子注入:离子注入是半导体制造中用于改变材料电学性质的重要技术。真空泵用于维持离子注入过程中的真空环境,确保离子注入的准确性和均匀性。
其他半导体工艺:真空泵还广泛应用于半导体制造的多个环节,如光刻、蚀刻、封装等,为这些工艺提供必要的真空环境。

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