软氮化，软氮化的学名是“氮碳共渗”。渗入钢表面的元素以氮为主，同时添加了碳。 软氮化实质上是以渗氮为主的低温氮碳共渗，与硬氮化相比，渗层硬度较低，大朗真空热处理，脆性较小，故称为软氮化。软氮化方法分为气体软氮化和液体软氮化两大类。目前国内生产中应用广泛的是气体软氮化。气体软氮化是在含有活性碳、氮原子的气氛中进行低温碳、氮共渗，温度常用560～570℃，真空热处理，氮化时间常为2～3小时。气体软氮化目前存在问题是表层中铁氮化合物层厚度较薄（0.01～0.02mm），且氮化层硬度梯度较陡，石碣真空热处理，故不宜在重载条件下工作。“软氮化”含义不是指获得的硬度比所谓的“硬氮化”的硬度低，而是含有简便、省事、费用低的意思。
一般来说，淬火介质冷却速度愈快，零件的变形就愈大，淬火介质冷却速度愈低，零件的变形就愈小，这是因为，当冷却速度愈快，石排真空热处理，冷却过程中在热应力作用下产生的不均匀塑性变形愈大。理想的淬火介质是在Ms点以上快速冷却，而在Ms点以下发生马氏体转变时冷却相对慢一些，以使马氏体转变时产生的热应力和组织应力小，这样就可以有效地减小淬火变形。正确的选择淬火介质和淬火方法，在满足性能要求的前提下，应选用较为缓和的淬火介质或采用分级淬火、等温淬火。
真空热处理加工技能的特色，真空热处理加工是和可控气氛齐头并进的运用面很广的无氧化热处理技能，也是当前热处理生产技能程度的首要标志之一。真空热处理不仅能够完成钢件的无氧化、无脱碳，并且还能够完成生产的和工件的少畸变，因此，它还归于清洁和生产技能范畴。现在，它已成为工模具生产中不行代替的技能。
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