








残余气体分子撞击着真空室内的所有表面,包括正在生长着的膜层表面。在室温和10-4Pa压力下的空气环境中,形成单一分子层吸附所需的时间只有2.2s。可见,在蒸发镀膜过程中,如果要获得高纯度的膜层,不锈钢镀钛报价,必须使膜材原子或分子到达基片上的速率大于残余气体到达基片上的速率,只有这样才能制备出纯度好的膜层。这一点对于活性金属材料基片更为重要,因为这些金属材料的清洁表面的粘着系数均接近于1。在10-2Pa~10-4Pa压力下蒸发时,膜材蒸汽分子与残余气体分子到达基片上的数量大致相等,这必将影响制备的膜层质量。 次数用完API KEY 超过次数限制

测试方法:连续对镀膜室抽气24h这一时间段之间,夏邑不锈钢镀钛报价,测定出过程中的压力zui低值,则定为该设备的极限压力。如果压力变化值在0.5h内没有超过5%的波动,则取zui高测量表读数值作为极限压力值。二、镀膜室抽气时间的测定1、试验条件:与上述极限压力测定的试验条件的(1)~(4)相同。2、测试方法:在连续抽气的前提之下,待至镀膜室内达到极限压力,再将镀膜室打开15min,然后将镀膜室关闭,再次将镀膜室抽气至规定的压力标准,此间这段所需的时间,就是该设备的抽气时间。 次数用完API KEY 超过次数限制

真空镀膜室壁上单分子层所吸附的分子数Ns与气相中分子数N的比值近似值。通常在常用的高真空系统中,其内表面上所吸附的单层分子数,远远超过气相中的分子数。因此,除了蒸发源在蒸镀过程中所释放的气体外,在密封和抽气系统性能均良好和清洁的真空系统中,表面不锈钢镀钛报价,若气压处于10-4Pa时,金属不锈钢镀钛报价,从真空室壁表面上解吸出来的气体分子就是真空系统内的主要气体来源。真空下室壁单分子层所吸附的分子数与气相分子数之比分子数与气相分子数A-镀膜室的内表面积,cm2;V-镀膜室的容积,cm3;ns-单分子层内吸附分子数,个/cm2;n-气相分子数,个/cm3 次数用完API KEY 超过次数限制
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