





洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。装配式洁净厂房系统主要由初,消音室厂,中,高三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统;动力及照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。

由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室

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