




超声波扫描显微镜的应用领域半导体电子行业: 半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等; 材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;生物医学:细胞动态研究、骨骼、血管的研究等。 超声波扫描显微镜有两种工作模式:基于超声波脉冲反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特点是分辨率高,对待测样品厚度的没有限制。透射模式只在半导体企业中用作器件筛选。
芯片失效分析步骤:
1、非破坏性分析:主要是超声波扫描显微镜(C-SAM)--看有没delamination,精细研磨机,xray--看内部结构,等等;
2、电测:主要工具,精细研磨,万用表,示波器, tek370a
3、破坏性分析:机械decap,化学 decap芯片开封机
4、半导体器件芯片失效分析 芯片內部分析,孔洞气泡失效分析。
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在红外光显微镜中通常使用白炽灯照明,精细研磨设备,很多白炽灯能够发射比可见光更多的红外光,在这里色温是一个重要的参数。当灯丝的温度为24000K时,大发射是在光谱的1200nm处左右。当温度为33000K时,大发射在光谱的800nm处左右。使用特殊的滤光片就可以分离出所要求波长的红外线。红外光像的观察和聚焦可以使用像转换器或专门设计的电视扫描管来进行。用于红外光显微镜的像转换器有两种类型,另一种是“固体”类型,它是由一个光电导体层和一个电子发光层所组成,这两者被夹在可以提供交流电的两层薄透明导体层之间。相当于真空管阳极的电子发光层,对着光电导体层已经被红外光辐射轰击的区域发射可见光,从而形成了可见的像。另外,已经设计制造出对直到3,500n m波长范围都敏感的电视管。在红外光显微照相中可以使用经过特殊敏感化处理的乳胶片,它在直到大约1300nm较低的红外光区域都是敏感的。

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