对亚共析钢，东坑真空热处理，正火用以消除铸、锻、焊件的过热粗晶组织和魏氏组织，轧材中的带状组织；细化晶粒；并可作为淬火前的预先热处理。
对普通中碳结构钢，在力学性能要求不高的场合下，可用正火代替淬火加高温回火，增城真空热处理，不仅操作简便，而且使钢材的组织和尺寸稳定。
高温正火(Ac3以上150～200℃)由于高温下扩散速度较高，可以减少铸件和锻件的成分偏析。高温正火后的粗大晶粒可通过随后第二次较低温度的正火予以细化。
只要改变钢材淬火冷却速率，寮步真空热处理，就会获得不同的硬度值，主要原因是钢材内部生成的组织不同。当冷却速度较慢时而经过钢材的Ps曲线，此时沃斯田体温度较高，沃斯田体会生成波来体，开始点为Ps点，终结点为Pf点，波来体的硬度较小。若冷却速度加快，冷却曲线不会切过Ps曲线时，则沃斯田体会成硬度较高的麻田散体。麻田散体的硬度与固溶的碳含量有关，因此麻田散体的硬度会随着%C含量之增加而变大，但超过0.77%C后，麻田散体内的碳固溶量已无明显增加，其硬度变化亦趋于缓和。
现代工业的发展对齿轮传动精度的要求越来越高，真空热处理，既要求承载能力高，使用寿命长，，同时还要求体积小、质量轻、传动平稳噪声低，而能达到以上各项要求的只有渗碳淬火并磨齿的齿轮。然而，热处理变形却一直是我国齿轮生产中.需要的一道难关。这是由于影响渗碳热处理变形的因素太多，包括材料的化学成分和淬透性、齿轮的几何形状、预先热处理的组织、零件装夹方式、淬火温度和时间淬火介质、淬火方式等。
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