




什么是气体质量流量控制器?
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,气体质量流量计控制器哪家好,它能控制气体流量,气体质量流量计控制器公司,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,气体质量流量计控制器多少钱,也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备,气体质量流量计控制器, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。

压力对于气体质量流量控制器影响有哪些?
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计,热式流量计采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时,其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。

气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

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