




能抽气能力:爱德华真空泵采用的技术和材料,使其在工作速度、气体流量、口径大小和排气能力方面均超过同类产品。其风量可达到360立方/小时,极限真空度可达到50和140两档(根据具体型号而定)。
高可靠性能:爱德华真空泵采用高精度及高质量的零部件,保证了其在长时间连续工作中的稳定性和耐久性。此外,其制造工艺也相当严格,每一个环节都有的质量控制人员进行检查和监控,确保了产品的质量。
低噪音设计:爱德华真空泵具有低噪声等级,减少了对工作环境和操作人员的干扰。
环保节能:爱德华真空泵注重环保和节能设计,符合ISO9001、ISO14001和OHSAS18001等,降低了能源消耗和环境污染。
汽车制造:用于气动制动系统、减震器生产和雾化喷涂等工艺。
轨道交通:为地铁和高铁提供稳定的压力支持,确保列车系统的正常运行。
食品制药:在食品加工和生产中,爱德华ZRS1200机械增压真空泵维修,用于包装密封、蒸馏干燥和抽取残留溶剂等过程。
环保监测:提供稳定的负压环境,确保环境监测仪器设备的测试结果。
油压回路提供有效润滑,即使在高气体负荷下也能保证性能。
弹簧式分配阀提供油和空气反吸保护,当泵关闭时起到保护作用。
气镇控制帮助处理高水蒸汽负荷,适应不同工作环境。
传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承,提高可靠性和使用寿命。
通过全高度油品观察窗可方便地检查油位和相关情况。
较大型号上安装有滤油机状态指示器,方便更换滤油机。

薄膜沉积:在半导体制造过程中,薄膜沉积是一个关键步骤。爱德华真空泵能够提供高纯度和无尘的环境,确保薄膜沉积的质量和性能。例如,物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)等工艺都需要用到真空泵来创造理想的沉积环境。
离子注入:离子注入是半导体制造中用于改变材料电学性质的重要技术。真空泵用于维持离子注入过程中的真空环境,确保离子注入的准确性和均匀性。
其他半导体工艺:真空泵还广泛应用于半导体制造的多个环节,如光刻、蚀刻、封装等,为这些工艺提供必要的真空环境。

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