




体积流量的表示方法
对多数用户而言,气体质量流量计数字控制模块多少钱,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,气体质量流量计数字控制模块公司, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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流体控制
流体控制是利用流体的各种控制元件(各种泵、阀门、油缸)及液压系统附件(过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等),组成控制闭式回路,以进行自动控制。
气动控制,动作迅速、方便,使用的元件和工作介质成本低,便于现有机器设备的自动化改装,四川气体质量流量计数字控制模块,已经在国际上得到很大发展,成为热点之一。
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FSCU 用途
将 FSCU 嵌入到应用系统中,FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止阀,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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