




检漏仪的故障和处理
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,真空氦质谱检漏仪哪家好,更换密封件。
2 本底信号不稳定
1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。
2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,检漏仪应有可靠的接地。
3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,被污染。

氦质谱检漏的应用
氦质谱检漏常用的操作方法
板式换热器的体积及换热面积较大,如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空,其不能满足检漏口真空度的要求,这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法,如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。
喷吹法
该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口,用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通,国产氦质谱检漏仪哪家好,然后用喷向漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时,氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。


氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面
1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。
2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节0点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,国产氦质谱检漏仪哪家好,菜择功能,一个按钮即可完成全检漏过程。
4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,天津氦质谱检漏仪哪家好,提供了有利条件。
5.检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。


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