




右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,多点动态气体配气仪报价,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,多点动态气体配气仪厂家,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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输出设定
浓度设定模式下,多点动态气体配气仪哪家好,用户在输出设定框中写入希望输出的总浓度(系统默认气源为1000000PPM情况下,输出浓度在100PPM以上使用一级配气,多点动态气体配气仪,输出浓度再100PPM以下,使用二级配气)
用户输入总浓度后,选择一级或二级配气设定,系统会自动切换用户需要输入的值。
如系统使用一级配气,用户可直接输入流量输出值(可用的流量输出范围会在输入框上方显示,输入的流量不能超过这个范围)。
如系统使用二级配气,系统自动调准到二级配气设定框中,此时用户可自行设定一级配气的浓度,同样,系统会自动计算一级配气可输出的流量(可用的流量输出范围会在输入框上方显示,输入的流量不能超过这个范围,建议选用流量输出),一级配气浓度及流量设定后,系统会自动计算终二级配气用户可输出的流量(可用的流量输出范围会在输入框上方显示,输入的流量不能超过这个范围)
设定正确后,点击“开始”系统会自动切换所需的阀进行开关,从而输出用户所需要的浓度。
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应用行业
可广泛应用于气体浓度传感器、校准、测试研究,在新材料及特种材料的研究及制备方面,多配套于CVD使用,等离子刻蚀、催化评价、脱硫脱销、气体焊接等设备中也大量配套使用,大量在环保行业中干扰实验——动态混合矩阵实验法中使用,主要是对气源CO2、SO2、N2进行动态混合配比,为试验提供一定流量范围或浓度范围的混合气体。
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