渗碳齿轮的热处理变形直接影响到齿轮的精度、强度、噪声和寿命，即使在渗碳热处理后加上磨齿工序，变形仍然要降低齿轮的精度等级。影响渗碳热处理变形的因素较多，只有控制各方面的因素才能将变形控制到较小程度。控制齿轮变形也必须在制造齿轮的全过程中设法去解决。
预备热处理对齿轮变形的影响正火硬度过高、混晶、大量索氏体或魏氏组织都会使内孔变形增大，所以要用控温正火或等温退火来处理锻件。
淬火的目的是提高钢的刚性、硬度、耐磨性、疲劳强度以及韧性等，东城真空热处理，从而满足各种机械零件和工具的不同使用要求。也可以通过淬火满足某些特种钢材的铁磁性、耐蚀性等特殊的物理、化学性能。
调制的目的是使钢铁零部件获得强度与韧性的良好配合，既有较高的强度，又有优良的韧性、塑性、切削性能等。
钢材的热处理工艺包括退火、正火、淬火、回火和表面热处理等方法。
其中回火又包括高温回火、中温回火和低温回火。将已经淬火的钢重新加热到适宜温度，再用适宜方法冷却称为回火。其目的是消除淬火产生的内应力，降低硬度和脆性，以取得预期的力学性能。
淬火时，淬火应力越大，相变越不均匀；比容差越大，真空热处理，则淬火变形越严重。通过对齿轮渗碳淬火冷却时各部位的冷却速度、组织及硬度状态比较分析，可以发现各部位冷却速度的不同导致产生热应力，由冷速不均匀所导致组织转变的不同时性会造成组织应力。齿轮的结构，增城真空热处理，例如形状、尺寸等是影响热处理变形的因素之一。动锥齿轮模型，其齿部厚度Lo与齿座厚度L的比例影响齿轮底面变形，当L≥Lo时，齿轮底面变形。
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