




气体质量流量控制器工作原理
气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,电子质量控制器,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,电子质量控制器多少钱,经由放大后输出,电子质量控制器哪家好,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,电子质量控制器厂家,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。

气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

压力对于气体质量流量控制器影响有哪些?
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计,热式流量计采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时,其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。

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