目前市场上定向微焦点x射线设备的焦点尺寸可低至0.25-3μm，并可以在0-300kV内连续工作，元器件失效分析设备，靶功率为300W，发射功率可达350W。为了散发高能量产生的热量，管头通常采用外部水冷却或内部水冷两种。采用开放式涉及，可以打开管头更换不同的阳极靶，以满足特殊检测需求。还可以改变管头窗口，甚至移走靶，用阳极棒取代。这些管头阳极棒的直径为3~80mm，长度可达1500mm。因为阳极棒直径比较小，所以能对管类工件进行单壁透照，元器件失效分析价格，获得较高缺陷检测灵敏度和分辨率。
微焦点X射线机的主要技术参数有那些？
- 管电压范围：微焦点X射线管的高压工作范围。
- 大管电流：从阴极到阳极的大电流。
- 大功率：微焦点X射线管的大功率。
- 电子束聚焦能力（焦点）：在给定功率下的焦点尺寸，元器件失效如何分析，如：3μm@5W；0.2mm@320W。焦点一般连续可调。
- 细节分辨能力：通常公认的小的细节分辨能力为焦点尺寸的一半。
- 锥束角：在给定窗口直径下的X射线角。如：孔径2mm时，25°。
- 锥束角线均匀度：射线视场强度的均匀性，以百分比表示。
- X射线剂量率稳定性：X射线剂量随时间的变化性，以 百分比/小时 表示。
- 小焦距：通常用焦点到X射线管窗口外表面的距离来表示。
- 靶材料：通常有钨，钼，铜以及其它材料。
- 小高压稳定时间：系统在大电压和大功率模式下，从开机到稳定运行所需的时间。
- 其它参数：重量，尺寸，电源，及温度湿度要求等。
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