由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,浙江消音室,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室
适用场所:适用于通讯设备制造厂、芯片制造厂、S下M车间、光学仪器厂、实验室等有较静电要求的洁净厂房。洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。中文名洁净室外文名Clean Room亦 称无尘车间、无尘室主要功能控制空气污染应用场合精密机械工业、半导体工业等行业洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。
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