




气体质量流量控制器的密封材料如何选择?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误,工业流量控制器报价, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

气体质量流量控制器特点
利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术,工业流量控制器哪家好,能实现微小流量测量和控制,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氮气等气体的检测和控制

气体质量流量控制器工作原理
气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经由放大后输出,工业流量控制器厂家,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,工业流量控制器,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。

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