超深冷处理技术的发展历程可以追溯到20世纪初期，随着液态氮气的生产工艺的完善，使得深冷处理技术成为可能。 早采用深冷处理技术的是铁基合金，目的是为了提高其强度和耐磨性能。1925年，英国材料学家塞尔马利斯提出了金属在低温下的塑性变形规律，这一发现促进了对深冷处理技术的理解和研究。
20世纪中期以来，随着深冷处理设备的完善和工艺的改进，深冷处理技术逐渐被应用于航空航天、汽车制造等领域，并取得了显著效果。20世纪60~70年代是深冷处理技术的发展时期，深冷处理技术已经进入了产业化阶段。在这一时期，对深冷处理过程中的降温速度、保温时间和回升速度等工艺参数进行了大量的实验和理论分析，以期优化深冷处理效果。
设备保养与维护：超深冷处理设备需要定期记录运行数据，以便在设备出现故障时能迅速找出问题所在。设备本身设置有多重保护装置，一旦发生故障会自动停机。故障排除后，按复位键即可恢复正常运行。停机时，应排空机组、水泵、保温水箱及管道内的水，真空热处理，并将设备遮盖以保护其免受灰尘等杂物的影响。设备的保养不容忽视，包括清洗冷凝器、蒸发器等，并保持设备清洁。
运行管理：工业低温深冷泵冷冻装置的运行管理同样重要，应保持工作环境干净整洁，以提高散热稳定性。日常保养与维护至关重要，操作人员应按照厂家要求完成设备的开启与关闭，寮步真空热处理，避免错误操作导致设备故障。记录设备运行数据并定期分析，及时解决问题，确保设备处于良好状态3。
由于这种深冷处理工艺简单方便，应用较为广泛。但是，这种方法的降温速度较快，常平真空热处理，导致热应力过大，东城真空热处理，容易对工件材料造成组织损害，而且工件材料在降温过程中降温速度是不可控制的，进而影响工艺的可调性。
2、 利用液氮的汽化潜热或者低温氮气制冷：利用低温氮气实现制冷的原理是低温氮气与材料直接接触，通过对流换热来使材料温度降低，而利用液氮的汽化潜热的原理就是液氮与材料不直接接触而通过间接方式使材料温度降低。利用这种方式来制冷按其传热方式又分为三种：(a) 基于辐射换热的系统;(b) 基于对流换热的系统;(c) 基于辐射换热与对流换热相结合的系统。
硬质合金深冷去应力炉
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