装箱清单
1、桌面微型紫外光刻机主机 1台
2、匀胶机 1台
3、热板 2台
4、数显测厚规(千分款) 1只
5、显微镜 1台 (选配)
6、耗材:硅片、掩膜版、SU8光刻胶 (需额外购买)
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
SU8模具制备流程
1.后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,微流控光刻机公司,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)
2.显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,微流控光刻机报价,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
3.清洗
将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
4.检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,微流控光刻机,确认图案的清晰度和质量。
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匀胶机
调速范围和时间:I档:50~10000转/分,微流控光刻机,时间0~999s
II档:50~10000转/分,时间0~999s适用:直径5~100mm硅片及其他材料匀胶转速稳定性:±1%胶的均匀性:±2%电极功率:40W,单相110~240V真空泵抽气速率:>60L/min
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