气体质量流量单位
气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
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使用质量流量控制器注意事项
使用质量流量控制器有四怕:
怕粉尘， 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器， 造成测量误差，气体质量流量计数字控制模块多少钱， 要求在进气口前加装过滤器;
第二怕液体和油污进入MFC， 会造成失控， 如果MFC的出口接有液体罐， 需要在MFC出口加上单向阀， 防止液体回流;
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 造成MFC通道损坏， 因此要求在使用腐蚀性气体前， 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作， 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
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质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?
质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，气体质量流量计数字控制模块价格， 需要向供货厂商特殊声明使用气体，气体质量流量计数字控制模块厂家， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。
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