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气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

气体质量流量控制器显示方式有哪些

1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式，测量的精度高，质量流量控制器公司，多款外形尺寸可选，双四位的LED显示，支持电流、电压的输入方式，可带多个控制点、多窗口显示，适用于流量等过程量的监测，质量流量控制器多少钱，是一款非常高的产品。   

2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示，除了具有精度等级高，线性精度好以外，操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。  

3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式，适合多气路以及产品的集成，一键启动，人机界面，质量流量控制器报价，具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点，是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式，用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作，给人们的生活带来了很大的方便。

气体质量流量控制器的密封材料如何选择？

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封，质量流量控制器， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。