凯德金(图)-水环式真空泵公司-水环式真空泵

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，水环式真空泵厂家，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵供水量不足的调节方法

水环式真空泵启动后，在整个过程中连续供水，使其压力平衡，水环式真空泵，并有足够的水。由于真空泵的供水量有一定的范围，为了获得标准的供水量，水环式真空泵供应商，可以按照程序调节供水阀。水环真空泵正常运行后，适当打开供水阀，观察入口真空计的压力。慢慢关闭小供水阀的开度。当真空表指针开始波动或下降时，供水量不足。慢慢打开供水阀。当真空表指针再次稳定时，供水量为标准供水。当水环式真空泵供水不足时，设备的抽气能力下降，工作不稳定。当供水过多时，会造成水资源浪费，增加泵的轴功率，甚至烧坏电机。水环真空泵的供水量可以调节，我们只需要按照上述方法进行调节，水环式真空泵公司，在使用过程中必须做好供水阀的操作。必须正确调整设备的供水量，提高设备的效率。

真空泵干泵

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。