与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。LPE的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，不能进行很好的生长。其次，由于分凝系数的不同，除生长很薄的外延层外，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。
技术参数：自动进样器：样品瓶容量：可达768瓶，苏州二手1260液相设备，另加10个2ml瓶，另加10个2ml瓶进橛量：0.1-100ul（标准）高达1500ul的多次吸液功能所有自动进样器的度：一般＜0.5（5-100ul进样量）恒温自动进样器：温度控制范围：从4℃-40℃可设定1℃Agilent 1200系列柱温箱温度设定范围：室温下10℃至80℃温度稳定性：±0.15℃柱容量：30cm三根柱Agilent 1200系列可变波长检测器短期噪声：±0.75×10-5，254nm波长范围：190-600nm
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