气体管道系统-珂锐弘扬流体-新疆气体管道

气体管道设计规范

（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。

（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。

（4）氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

（5）氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。

（6）管道敷设要求

① 输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，气体管道流速，坡向冷凝液体收集器。

② 氧气管道与其他气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。

③ 氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，气体管道系统，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。

④ 气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。

⑤ 气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

⑥ 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。

⑦ 阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。

气体管道安装

实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。

实验室供气系统主要包括中央集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，气体管道公司，工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，新疆气体管道，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。