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北京晓韬科技有限公司

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晓韬科技有限公司为行业内很具影响力的创新型企业之一,拥有多项技术,致力于为广大科研院所,高校,企业中奋斗在科研的科学家们提供很可靠的科研设备。解决方案涵盖:气、液流量控制设备,温湿度控制设备,真空、催化、材料等研究设备及各种实验设备辅材。主要产品有:智能气路控制系统;流量显示仪表;FSCU(Flow......

热式质量控制器公司-热式质量控制器-晓韬科技(查看)

产品编号:100103760439                    更新时间:2024-11-02
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北京晓韬科技有限公司

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什么是气体质量流量控制器


气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。



气体质量流量控制器特点

利用流体流过发热物体时,热式质量控制器,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD,热式质量控制器报价,一只用来做热源,热式质量控制器多少钱,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术,能实现微小流量测量和控制,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氮气等气体的检测和控制



气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。



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