氮气管道-珂锐弘扬流体控制系统-氮气管道好不好

减压器的使用要点

(1) 使用前应确认减压器是完好的，并检查有无油脂污染，特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。

(2) 检查气瓶是否有油脂污染，螺纹是否损坏，氮气管道好不好，如发现有油脂或螺纹损坏，就不再使用该气瓶，并将这些情况通知供气单位，清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染，修复螺纹。

(3) 把减压器装到气瓶阀上，将输入输出接头拧紧。

(4) 打开气瓶阀前，先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。

(5) 打开气瓶阀前，先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。

(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆，放出一部分气后重新调节。

(7) 当工作结束后，氮气管道，先关闭气瓶阀，然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好，逆时针方向旋转调节螺杆，一直到调节弹簧不受压为止。

(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动，不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。

(9) 减压器只能使用规定的气体。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

气体管道安装

气体管道可能承受许多种外力的作用，包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了保证管道的强度和刚度，必须设置各种支(吊)架，如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。固定支架用来分段控制管道的热伸长，使膨胀节均匀工作；导向支架使管子仅作轴向移动。

 为了排除凝结水，氮气管道安装，蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度，一般不小于千分之二。对于利用重力流动的地下排水管道，坡度不小于千分之五。蒸汽或其他含水的气体管道在底端设置排水管或疏水阀，某些气体管道还设有气水分离器，以便及时排去水液，防止管内产生水击和阻碍气体流动。给水或其他液体管道在顶端设有排气装置，排除积存在管道内的空气或其他气体，以防止气阻造成运行失常。管道如不能自由地伸缩，就会产生巨大的附加应力。因此，氮气管道哪里有，在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上，需要设置膨胀节，使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。常用的保温材料有水泥珍珠岩、玻璃棉、岩棉和石棉硅藻土等。