常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。
定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。
