热板
温度:0~300℃温度稳定性:±1℃功率:850W台面大小:200x200mm
公司团队拥有丰富的经验和技术积累,桌面光刻机,持续将专ye知识与创新思维相结合,为客户提供高品pin质的解决方案。我们将始终坚持以客户为中心,不断挑战自我,不断追求卓yue,通过专ye、创新和合作,为客户创造更大的价值,山西桌面光刻机,共同kai创微流控领域的美好未来。
SU8模具制备流程
1.后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,桌面光刻机企业,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)
2.显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
3.清洗
将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
4.检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。
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桌面光刻机
曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;曝光面积:4英寸、6英寸可选;曝光方式:单面接触式定时曝光;曝光分辨率:2um;曝光强度:20~200mW/cm2可调;曝光不均匀性:≤5%;光源平行性:≤2°;光源寿命:≥20000h;电源输入:AC220V±10V,50HZ功率:250W重量:25kg外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
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