质量流量计原理
配气仪原理
利用单片机控制质量流量计的流量，从而实现不同气体的配比。此种原理的配气仪比较典型的是中国计量院研发的MF-4型自动配气系统.
特点
质量流量计原理的配气仪主要特点是配气精度高（小于0.5%），但价格较贵。对于不同种类的气体，需要采用不同的配气仪。只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体。
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右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成，并可通过手动方式，控制内部截止阀（V1-V6的开关）
INLET1 - 设备所用背景气，一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气，用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体，系统自动维持压力在0.5MPa以下，在使用二级配气条件下，初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下，用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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配气仪的特点
电磁阀原理的配气仪的优点是气体适用范围比较广，精度高（可大1%），操作比较简单，价格相对较低。常规气体，无需经过特殊设置或换算，配气箱，就可以直接使用。对于气体种类和所要配比的浓度，在仪器出厂前不需要调教。
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