真空管道的作用-珂锐弘扬流体-真空管道

配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，真空管道造价，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，真空管道的作用，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，真空管道，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

实验室气体的供气方式

　　采用中压供气，二级减压的供气方式，气瓶气体压力为12.5MPa，经一级减压后为1MPa（管路压力1MPa），送至用气点，经二级减压后为0.3——0.5 MPa（根据仪器需求）送至仪器，供气压力比较稳定。

　　实验室气体管道的材质要求

　　（1）对所有气体无渗透性

　　（2）吸附效应很少

　　（3）对所输送的气体呈化学惰性

　　（4）能快速使输送的气体达到平衡

　　注：化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响

　　316不锈钢是继304不锈钢之后，第二个得到广泛应用的钢种，具有较好的耐腐蚀性，耐高温，强度优i秀等特点，真空管道怎么样，所以我们一直用    316无缝不锈钢管。

实验室气体管道安装

【实验室气体管路要求】

1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。（比如通风柜）。

2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。

3、易i燃气体，如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。

4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。

5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。

6、 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。

8、每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

9、不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。

10、供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。

【实验室气体管路安装检验】

实验室承包商要保证气体管路系统的清洁，所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验，防止管路泄漏。