对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，家电行业检漏设备，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
真空检漏向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氮气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。极限压力不合格，升压率合格这种情况原因通常出现在粗抽阀到机械泵部分的各个连接管路的焊口及法兰连接或真空泵本身性能。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
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