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高纯气体管路的设计要点：

1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S，毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。

连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding，同时管内通入同等纯度的Ar，防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，氮气管道价格，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。

工业气体在使用上需要注意哪些事项

在使用一氧i化碳气体检测仪的时候要注意事项：

1、检查气体流量、通常为30/h，流量过大或者过小对分析仪结果影响较大

2、更换滤纸：停抽气泵，过滤罐排水

3、检查气路系统中有无漏气现象。抽泣泵膜片有无破损，取样探头密封圈是否破i裂，四通阀、冷凝汽是否损坏等

4、取样探头清洗，取样孔管路疏通

5、检查冷凝器工作是否正常，通常温度调整在3摄氏度范围内

6、检查测量器室看是否脏污，及时清洗。

1、气瓶安全附件完好齐全（包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞） ， 胶皮软管必须完好无老化破损情况，与气瓶接口处应用卡子固定，氮气管道好不好，以防滑脱。 2、氧气、乙i炔不能混合存放（二者应隔开或隔离放置，隔开距离 2 米以上） ，使用时距离 5 米以上，气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方（距离 15 米以上） ，放置场所应阴 凉通风，并有防倾倒措施。 3、工业气瓶在搬运过程中，严禁在地上滚动，氮气管道怎么样，应用手旋转平移。装车时，气瓶应该方向一 致，捆扎牢固。运输必须用危化车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。 4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时，应用不燃物体遮盖，高温天气不能在阳光下长时 间曝晒，气瓶使用完毕后，须拆下减压阀、胶皮软管等设施，氮气管道，并戴上安全帽，然后按第 2 条要求放置。 5、乙i炔气瓶在使用时严禁平放在地上。 6、氧气瓶在储存使用过程中严禁接触油脂。 7、切割、焊接作业前，应清理周围易i燃物，以防引燃。 8、动火作业现场应设专人监护，并配置相应的消防灭火设施，如灭火器、水等。 9、存放（或存放过）易i燃易i爆危险品的容器、管线设备不能直接进行动火作业，应进行相 应处理或采用其他安全措施，确认安全后再进行动火作业。 10、在具有一定危险性的场所动火作业，用火单位应使用“用火许可证” ，在落实安全措施 后经负责人审批再进行施工。