直线电ji定位精度可达0.1μm。“旋转伺服电机+滚珠丝杠”较高达到2~5μm，且要求CNC-伺服电机-无隙连轴器-止推轴承-冷却系统-高i精度滚动导轨-螺母座-工作台闭环整个系统的传动部分要轻量化，光栅精度要高。
若想达到较高平稳性，“旋转伺服电机+滚珠丝杠”要采取双轴驱动，直线电机安装，直线电机是高发热部件，需采取强冷措施，要达到相同目的，直线电机则要付出更大的代价。寿命方面直线电机因运动部件和固定部件间有安装间隙，长治直线电机，无接触，不会因动子的高速往复运动而磨损，长间使用对运动定位精度无变化，适合高i精度的场合。而滚珠丝杠则不适合，滚珠丝杠则无法在高速往复运动中保证精度，因高速摩擦，会造成丝杠螺母的磨损，影响运动的精度要求。
直线电机在进给系统中，采用直线电动机直接驱动与原旋转电机传动的较大区别是取消了从电机到工作台（拖板）之间的机械传动环节，把进给传动链的长度缩短为零，因而这种传动方式又被称为"零传动"。正是由于这种"零传动"方式，直线电机企业，带来了原旋转电机驱动方式无法达到的性能指标和优点。目前市场上的直线电机主要分有铁芯、无铁芯和无槽直线电机。
其主要特点是:
高响应，效率，低噪音，免维护，推力特性平滑，行程可任意延长
加速度大，速度快，加减速过程短，配合光栅尺的应用，也可达较高的精度。
直线电机（Linear motor）是一种通过将封闭式磁场展开为开放式磁场，直线电机供应，将电能直接转化为直线运动的机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。其结构可以看作是将一台旋转电机沿径向剖开，并将电机的圆周展开成直线而形成的。其中定子相当于直线电机的初级，转子相当于直线电机的次级，当初级通入电流后，在初次级之间的气隙中产生行波磁场，在行波磁场与次级永磁体的作用下产生驱动力，从而实现运动部件的直线运动。
