SU8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。
匀胶
1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，显影机，确保硅片固定在托盘上不动；
将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）
微流控光刻机是一种精密的设备，其报价会受到多种因素的影响。首先，微流控光刻机的制造成本是一个重要的考虑因素，包括设备的材料成本、制造工艺成本、人工成本等。其次，微流控光刻机的性能也是一个重要的考虑因素，包括其精度、速度、稳定性等。此外，微流控光刻机的售后服务也是一个重要的考虑因素，包括设备的维护、维修、升级等。微流控光刻机的市场供求也是一个重要的考虑因素，如果市场上供应过剩，价格可能会下降
1、启动曝光：确认参数设定无误后，点击启动按钮，设备将开始进行曝光。
2、监控曝光过程：在曝光过程中，您可以通过设备界面监控曝光进度，确保一切顺利进行。
3、曝光完成：曝光结束后，设备会发出提示，取出硅片和光刻板。
顶旭微控
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