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扩散泵的运用

使用扩散泵时，需按说明书规定，保证有一定的加热功率和冷却水流量，被抽容器内的压力由前级泵抽到低于允许zui大工作压力后，才能启用。另外宜于在泵完全正常工作后，才打开阀门正式使用。停止使用时，需要待泵油冷却后才能关掉前级机械泵，如有可能将扩散泵始终保持在真空状态下*好，*后关去冷却水。

抗震动完成检测对一批泵（处在运作和非运作标准下）开展一系列检测，证实对外界源造成震动的耐受力在105分鐘的震动周期时间中，全转速比和不运作的每一个泵在垂、水准、倒立起来方位上遭受0.5–3g瞬时速度水准的震动。该检测确认了泵的可靠性及其耐振性，由于未观查到转子机械设备触碰或泵运作情况的更改，且泵不平衡依然远小于阀值。

轴封发热填料压得太紧或磨擦

处理方法：放松填料，检查水封管；

水封圈与水封管错位

处理方法：重新检查对准；

冲洗、冷却不良

处理方法：检查冲洗冷却循环管；

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真空设备做到高真空泵范畴后汽体分子结构相对密度相对性降低，没法应用缩小的方法抽真空。这时，必须应用运用授予汽体分子动能的排气管式泵或将汽体存储在泵中的贮气式泵做为真空包装的泵。抽高真空泵采用的机械泵为涡轮增压分子泵、冷凝泵。

分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

　　原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，日本shimadzu分子泵的维护保养，对分子泵没有影响。

　　解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

在抽除有毒、腐蚀性等对人体有害的气体时，拆卸前，请先使用N2对真空泵进行清扫，务必使残留气体尽数排出。请注意，运行时真空泵零部件温度很高，请在泵完全冷却后再行拆装，以免伤到自己。

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要怎么维修真空泵？

真空泵维修保养应该关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。

点动电机，试看电机转向是否正确。

开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷的真空泵维修保养情况。岛津shimadzu真空泵维修联系方式

尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在zui高*率点运转，才能获得zui大的节能效果。

真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度，zui高温度不得超过。岛津shimadzu真空泵维修联系方式

在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。适用产品：真空机组、罗茨真空泵系列、滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列等。

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