高纯氩气的国家履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。
氩气是采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏，得到粗氩.抽出粗氩，经进一步提纯可得到高纯氩，高纯氩在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；
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在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
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氩本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险。当氩气浓度超过50%时，出现严状，冶金氩气报价，浓度达到75%以上时，能在数分钟内。液氩可以伤皮肤，眼部接触可引起。
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