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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，涡街流量计多少钱， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。

由于金属密封的MFC价格较高，流量计， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;  三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。

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流量控制器

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，手持式流量计价格，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。