随着半导体工艺的不断发展，对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高，传统的机械抛光技术已经不能满足需求。铜抛光设备作为一种新兴的表面处理技术，具有、、无污染等优点，在半导体行业中的应用前景广阔。铜抛光设备不仅可以用于晶圆的表面抛光和去除氧化物，还可以用于半导体器件的表面平整化和去除残留物等方面，具有重要的应用价值。
铜抛光设备对排气管的要求是什么？
铜抛光设备在抛光时会生产很大的水蒸气、水蒸气温度一般比水的沸腾点好要高、超过100、但由于工作时有抽风机在加速水蒸气排出、实际排出的气体里面有混合一定的冷风在里面、一般情况下有80C左右。这样就得需要排气管需要一定的耐温和耐腐她要求，所以只洗择楚料管道或者不锈钢管道，不锈钢管道成本较贵、塑料管道有很多，能温的大到80C长期工作不变形的、且成本低廉的也只有PP管道、八溢自动化设备有限公司生产的铜抛光设备、就是采用PP管道作为排气管道的、若是采用PVC管道、时间一长就会软化变形现象。
等离子抛光是靠物理、化学反应同时存在、物理反应离子轰击只是有各方面，抛光盐不对是打不到抛光效果的，化学微腐蚀起到至关重要的作用。化学微腐蚀必须和工件表面通电时起反应、抛光盐必须对工件的材料在通电情况下发生微腐蚀方能起到抛光作用，使用不同材料会有不同的抛光盐去对应它，抛光盐成分和量的多少起到至关重要的作用。八溢自动化设备有限公司配置的抛光盐可以针对各种全属材料做专门的对应，达到工件抛光去毛刺功效。欢迎咨询。
