




在当今科技飞速发展的时代,高纯氦气在众多关键领域发挥着不可或缺的作用。
在半导体制造过程中,高纯氦气被广泛应用于芯片的光刻、蚀刻以及薄膜沉积等工艺环节。
高纯氦气作为一种惰性保护气体,能够有效防止芯片在制造过程中受到杂质的污染,确保芯片的微观结构和电学性能的高度一致性与稳定性。例如,在极紫外光刻(EUV)技术中,超纯氦气的能供应对于实现高精度的芯片图案转移至关重要,其微小的杂质含量波动都可能导致芯片出现缺陷,影响整个集成电路的性能与成品率。
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储存高纯氦气需要注意哪些问题?
储存高纯氦气需要注意以下几点。
1、容器的选择至关重要。要使用专门的高压气体钢瓶,确保钢瓶质量合格、耐压性好并且密封严实,防止氦气泄漏。
2、储存环境要保持通风良好,温度适宜。避免阳光直射和靠近热源,因为温度升高会使钢瓶内压力增大,有安全隐患。
3、要把钢瓶放置在干燥的环境中,防止生锈等情况影响钢瓶的密封性。另外,储存区域要做好标识,并且要远离容易着火的物品和其他不相容的化学品,避免发生危险。
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哪些行业对高纯氦气的需求较大?
在电子行业,特别是半导体制造领域,超纯氦气用于芯片制造过程中的保护和冷却,确保生产环境稳定和芯片性能良好。
航天行业是高纯氦气的重要用户,用于增压系统和太空设备的冷却系统,助力航天任务的顺利开展。
行业里,成像(MRI)设备需要超纯氦气作为超导磁体的冷却剂,以保证设备正常工作,为疾病诊断提供清晰的图像。
此外,在科研实验和精密仪器制造行业也需要高纯氦气来营造稳定的惰性环境或作为载气。
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