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VARIAN Turbo-V301分子泵维修

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VARIAN Turbo-V前级耐压高达18mbar，***da的优点是可以配更小的前级泵，瓦里安进口分子泵维修费用，如 V301 的分子泵只需配 5m3/hr 的 SH-100 的干泵或 DS-102 机械泵作为前级泵既可满足要求。Macro Torr 技术不仅降低了真空系统的成本，也使分子泵的性能更好。

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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

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Varian TV401-301 的涡轮转子采用Varian砖利的“MacroTorr”技术设计加工而成，整个涡轮转子整体成型，共有由11层叶片组成，qian七层为标准叶片，每层的角度从高到低，后四层为Varian 砖利技术的“Macrotorr”die片组成，涡轮转子其在分子泵内部以60000转／分钟的速度高速旋转

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VARIAN TV301分子泵特点功耗更低、性能更佳通过减少发热而节能，并提高可靠性为风冷而优化的冷却翅片通过降低工作温度进一步提高可靠性泵具有优化的几何尺寸功率要求低，前级耐压高及可承受高气载可拆卸的前级连接器可连接各种前级泵 冷却方式灵活（风冷或水冷）

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涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。